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Measurement system

Real-time detector series

Real-time detector series는 레이저의 파워 또는 펄스의 출력을 실시간으로 관찰하는 측정 기구입니다. 이 detector series는 레이저의 현재 파워를 기억하고 있어,
파워가 변동될 시 parameter를 조정하여 본래 파워로 되돌리는 기능이 있습니다.

  • - Power & Pulse detector

  • - Usage example


Jax는 극초단파레이저를 이용한 Pump-probe microscopy 기법을 응용한 분석장비이며, 극초단파레이저에 의해 물질에서 발생되는 음파를 분석하여 물질의 상태를 파악할 수 있는 분석장비입니다

Lateral resolution 250 nm
Time resolution 250 fs
Time measurement window 25 ns
Single acquisition 2 ms
Full scan size Up to 50 x 50 mm2 and 15’ wafer possible
Other features JAX-M1 CONTROLLER
Footprint 850 x 770 x 630 mm 20U single rack
Weight 80 kg 90 kg

Frequency Resolved Optical Gating(FROG)

FROG는 현재 극초단파레이저의 pulse duration을 측정하는 표준방법입니다. FROG는 시간지연에 따라 관측되는 신호의 세기를 FROG 알고리즘을 사용하여 pulse duration을 추출해내는 방법으로 Autocorreator 대비 더 정확한 값을 측정할 수 있습니다.

- Fast FROG

Models FC FS PS1 PS3 PS5 PS10
Pulse Duration(fs) 4-150³ 10-300³ 50-1000 100-3500 150-5000 300-10000
Spectral Pange(nm) 500-2000² 800-2000²
Spectral Window Δλ (nm) 580 420 300
Shot to shot Measurement capacity 80 kHz with synchronization / 40 kHz widthout²
Input pulse energy(nJ)
Single shot:
1 MHz:
100 MHz:
1 GHz:

> 5000
> 100
> 5
> 0.050 (width low energy option)
Input polanization Linear horizontal or vertical
Detection CMOS 12 Bit - 3 Mpx - 72 dB
PC interface USB 3.1 or GigE⁴
Beam height(mm) 83-180

- Multi-Shot(MS) FROG

Models Multi-shot
Pulse duration range (fs) 50-40000³
Spectral range (nm) 500-2000
Spectral Window Δλ (nm) 250
Minimal temporal resolution (fs) 6.7
Input pulse energy(nJ)
Single shot:
1 MHz:
100 MHz:

> 1
> 0.01
> 0.001
Input polarization Linear horizontal or vertical
Detection CMOS 21 Bit - 3 Mpx - 72 dB
PC interface USB3.1 or GifE²
Beam height(mm) 70-150

Mini imaging spatial spectrometer

MISS( Mini imaging spatial spectrometer )는 laser beam의 파장을 측정하는 기구로 최대 75kHz의 싱글 샷에 대해 측정할 수 있으며, 자유 공간 및 파이버를 이용한 빔의 입사가 가능합니다.

Models UV-VIS 1 IR 1 Yb UV-VIs 2 Ti:Sa IR2
Spectral Range (nm) 240-930 440-1100 860-1090 245-715 345-910 645-1100
Camera Resolution 2448 x 2048 - 5 Mpx
Spectral resolution (nm/px) 0.29 0.27 0.1 0.23 0.23 0.22
Optical Spectral resolution with 10㎛ slit (nm) 0.66 0.64 0.23 0.44 0.44 0.43
Input beam size(nm) 8.8 12.7
Max. spatial resolution (㎛) 4.3 5.2
Exposure- time
min-max (ms)
0.013-1000
Detection CMOS 12 Bit - 72 dB
PC Interface USB 3.1 - 35 FPS¹
Dimensions (mm) 135 X 95 X 47 152 X 112 X 47

Beam profiler

Beam pro는 laser beam의 형상을 측정하는 기구로, 유저에게 친숙한 protocol 및 software를 제공합니다. 특히 190 – 1100 nm 까지 넓은 범위의 파장영역에서 측정이 가능하며 최대 11 mm의 빔까지 측정할 수 있다. 또한 집속됨 빔을 측정하기 위한 Beam pro는 sensor의 pixel size가 최대 2.2 μm 까지 작아 질 수 있습니다.

Models BP 6.4 BP 7.5 BP 7.6 BP 13.9
Spectral Range(nm) 350-1100
190-1100 with UV opction
Sensor size (mm) 5.6x4.2 7.4x4.9 7.4x5.5 13.1x8.7
Sensor format 1/2" 1/1.8" 1/1.7" 1"
Resolution 2560x1920
5Mpx
3072x2048
6Mpx
4000x3000
12Mpx
5472x3648
20px
Pixel size (㎛) 2.2 2.4 1.85 2.4
Minimum beam diameter (ø1/e²,㎛) 18 20 15 20
Maximum acquisition framerate¹ 15 59 31 18
Exposure time min-max(ms) 0.031-2745 0.008-30000 0.010-30000 0.067-30000
Dynamic(dB) 60 73 70 72
Sensor type CMOS 12 Bit
PC interface USB 3.1
Synchronization Yes
Dimensions(mm) 36.1 x 39 x 46.4

Autocorrelator

Autocorrerator은 laser의 pulse duration을 측정하는 측정기구입니다. 이는 펄스를 가우시안이나 sech 함수 형태로 가정하여, 관측되는 광신호로부터 유추하는 시스템입니다.

Models BOAR FS BOAR PS
Pulse duration range (fs) Sub-10 to 750 fs Sub-10 to 1500 fs
Temporal window (ps) 3 ps 5.5 ps
Spectral(nm) 1200-2400nm¹
Shot-to-shot
measurement
capacity
150 kHz with synchronization 75 kHz widthout² 30 kHz with synchronization 15 kHz widthout²
Input pulse repetition rate From Hz to Ghz
Input pulse
energy and average power
(for 100 fs pulse)
Stadard model
Single shot: 100 nJ
1 Mhz: 5 nJ / 5mW
100MHz: 200 pJ / 20mW
Low energy option
Single shot: 5 nJ
1 Mhz: 100 pJ / 100㎼
100MHz: 10 pJ / 1mW
Input polarization any
Detection CMOS 12 bit - 6 Mpx
-72dB - USB 3.1
CMOS 12 bit - 18 Mpx
-72dB - USB 3.1
Dimensions 125 x 150 x 80